Fotogalvaanilised keraamilised düüsid on täppiskeraamilised osad gaasi jaotamiseks ja kemikaalide pihustamiseks fotogalvaanilises tootmises. Neid kasutatakse CVD- ja PECVD-seadmetes, märg-söövitussüsteemides ja nendega seotud tarnesõlmedes, kus otsik on osa protsessi-vedeliku teest.

Põhilised eelised

±0,01 mm ava täpsus

Puuri läbimõõdu täpsus on ±0,01 mm. Mitme-düüsiga gaasi- või vedelikujaotussõlmes vähendab iga läbipääsu juhtimine sellesse vahemikku düüside vahelisi erinevusi ja toetab ühtlasemat voolu kogu massiivi ulatuses.

Ra Väiksem või võrdne 0,2 μm sisepind

Sisepinna karedus on Ra Väiksem kui 0,2 μm või sellega võrdne. Siledam sein jätab vähem punkte osakeste või kemikaalide jääkide kogumiseks kitsastesse käikudesse, mis aitab aeglustada voolutee järkjärgulist piiramist.

Kuuma ja söövitava protsessi ümbrik

Maksimaalne töötemperatuur on olenevalt valitud keraamikast 1200 kraadi või 1500 kraadi ning düüsid peavad vastu pidama enamikule happelistele ja aluselistele gaasidele. Seetõttu saab materjali valikul lähtuda nii töötemperatuurist kui ka protsessikeskkonnast.

Kohandamine

Materjal

Materjalivalikud on 99% alumiiniumoksiid ja ränikarbiid.

Pikkus ja paigaldusliides

Kogupikkus tehakse kliendi joonise järgi. Seadme liidesega sobitamiseks saab lisada õlad, äärikud, kinnitusavad ja muud asukohaandmed.

Väljalaske- ja voolugeomeetria

Heakskiidetud joonis või prototüüp võib määratleda ava paigutuse, väljalaske suuna, pihustusgeomeetria ja mitme augu konfiguratsioonid.

Tehnilised andmed

Parameeter	Spetsifikatsioon
Materjali tüübid	99% alumiiniumoksiid, ränikarbiid
Puuri läbimõõdu täpsus	±0,01 mm
Sisepinna karedus (Ra)	Vähem kui 0,2 μm või sellega võrdne
Düüsi pikkus	Kliendi joonise järgi
Max Töötemperatuur	1200 kraadi (alumiiniumoksiid) / 1500 kraadi (ränikarbiid)
Korrosioonikindlus	Vastupidav enamikule happelistele ja aluselistele gaasidele

Kvaliteedikontroll

Ava suurust kontrollitakse pärast töötlemist. Sisemine läbipääs kontrollitakse ka ummistuse, servakahjustuste ja pinnatingimuste suhtes, enne kui otsik liigub funktsionaalse kontrollini.

Voolu testimine kinnitab, et valmis lõik on avatud ja tagab järjepideva kanali. Väliseid mõõtmeid, paigaldusdetaile ja tihendus- või asukohatappe kontrollitakse joonisel eraldi.

Enne pakkimist kontrollitakse düüside välimust, aktsepteeritud kogust ja puhtust. Ülevaatusdokumendid jäävad partii juurde, kolmanda osapoole kontrolli saab korraldada ning düüsiotsad ja täppispinnad on pakendis eraldatud.